Thiết bị bàn đầu tiên của Trung Quốc đo phổ hấp thụ vật chất dải cực tím ngoại được phát triển thành công

Ngày 4 tháng 11, Công ty TNHH Công nghệ Ánh sáng Lượng tử Quốc gia An Huy (dưới đây gọi tắt là "Quốc Khoa Lượng Quang") đã ra mắt thiết bị bàn đầu tiên trong nước đo phổ hấp thụ vật chất dải cực tím ngoại (EUV) tại Hợp Phì. Sự kiện này đánh dấu một bước đột phá quan trọng của Trung Quốc trong lĩnh vực thiết bị khoa học cao cấp, góp thêm "sức mạnh nội địa" vào việc tự chủ và kiểm soát các công nghệ kiểm tra then chốt.

Là một đại diện điển hình cho chuyển giao quyền sở hữu thành tựu khoa học công nghệ từ Đại học Khoa học và Công nghệ Trung Quốc (USTC), Quốc Khoa Lượng Quang chuyên tập trung vào nghiên cứu và phát triển nguồn sáng độ sáng cao, thu nhỏ từ dải tử ngoại đến tia X (bao gồm tử ngoại sâu, tử ngoại chân không, cực tím ngoại và tia X mềm) cùng các thiết bị khoa học liên quan. Hệ thống sản phẩm của công ty bao gồm thiết bị quang phổ hấp thụ, quang phổ quang điện tử, thiết bị chụp ảnh vi sóng ngắn, trang bị kiểm tra tại chỗ cho dây chuyền sản xuất công nghiệp, và cung cấp dịch vụ kiểm tra tương ứng theo dải sóng.

Giáo sư Hồ Quảng Nguyệt, Nhà khoa học chính của Quốc Khoa Lượng Quang, giới thiệu rằng sản phẩm này áp dụng công nghệ plasma laser, đã thành công trong việc đạt được bước đột phá về nguồn sáng bước sóng ngắn độ sáng cao dạng bàn, sở hữu những ưu điểm như khả năng sản xuất quy mô lớn, diện tích chiếm chỗ nhỏ, chi phí tương đối thấp. Nó bổ sung hữu ích cho các cơ sở khoa học lớn sử dụng bức xạ synchrotron truyền thống và hứa hẹn cung cấp phương tiện kỹ thuật hoàn toàn mới cho sự phát triển của các ngành công nghiệp chiến lược mới như vật liệu mới, năng lượng mới của Trung Quốc.

"Thiết bị này không chỉ cung cấp hỗ trợ mạnh mẽ cho sự phát triển của các lĩnh vực nghiên cứu tiên phong, mà lần đầu tiên còn tích hợp trực tiếp công nghệ kiểm tra cực tím ngoại độ chính xác cao vào dây chuyền sản xuất công nghiệp, cung cấp giải pháp nội địa tự chủ và kiểm soát được cho các thách thức kiểm tra cốt lõi trong lĩnh vực sản xuất tiên tiến," Hồ Quảng Nguyệt cho biết.

Ông Phạm Tiến, Cục trưởng Cục Khoa học và Công nghệ Thành phố Hợp Phì, phát biểu tại buổi ra mắt rằng Quốc Khoa Lượng Quang là minh chứng sinh động cho nỗ lực của thành phố Hợp Phì trong việc xây dựng hệ sinh thái đổi mới sáng tạo và thực hiện chiến lược quốc gia về tự chủ và tự cường khoa học công nghệ trình độ cao, thể hiện những kết quả đáng kể trong việc thúc đẩy chuyển giao thành tựu khoa học công nghệ hiệu quả ở địa phương.

Buổi ra mắt này được chỉ đạo bởi Cục Khoa học và Công nghệ Thành phố Hợp Phì và Cục Khoa học và Công nghệ Khu Phát triển Công nghiệp Công nghệ cao Hợp Phì, do Công ty TNHH Công nghệ Ánh sáng Lượng tử Quốc gia An Huy chủ trì, và Công ty TNHH Phát triển Đầu tư Ngành Công nghiệp Trí tuệ Nhân tạo An Huy đảm nhận tổ chức.